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半導體行業淨化解決方案
晶圓設備，微粒過濾和控製AMC是必須的。微粒過濾和控製AMC是高收益、低退貨率的半導體產業首要擔心的問題。不能很好的在潔淨室或設備中控製微粒或AMC將大大的削弱企業的經營利潤。潔淨室的主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控製的汙染。
傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器，整個地麵為回風柵板。如今我公司生產的FFU 使用自帶風機的過濾裝置，解決了繁複的安裝和性價比問題，是目前市場上一種安靜、價格優良的機組，為潔淨室輸送高質量的循環空氣。
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汙染物 |
來源 |
引發問題 |
解決方案 |
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粉塵 |
空氣 |
造成集成電路斷路、短路，影響成品率 |
化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU |
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NH3，NMP |
外氣 |
“T-top“現象 |
化學過濾模塊 |
部分成交客戶
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